特許

J-GLOBAL ID：200903001686340572

レーザ反射鏡

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219650
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063261
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 反射鏡としての性能を劣化させることなく形状を小型化する。【構成】 高純度アルミナセラミックスのブロック1の2面を鏡面研磨し、これら研磨面の表面に微小な凹凸を平坦化するためのアルミナの蒸着層2を堆積させ、この蒸着層2の表面に高反射率の高純度アルミニウム層3を堆積させる。

請求項（抜粋）：

セラミックスのブロックの少なくとも一面を鏡面研磨し、該研磨面の表面に高反射率の材料を堆積させた事を特徴とするレーザ反射鏡。

IPC (2件)：

H01S 3/08 ,  G02B 5/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-065797
  
• 特開昭61-088033
  
• 特開平2-197812
  
• 特開昭59-087404