特許

J-GLOBAL ID：200903001693001155

RF駆動電極のための密結合整合構造

発明者： ウインドホーン、トーマス・エイチ
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-519384
公開番号（公開出願番号）：特表2004-506307
出願日： 2001年08月07日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】【解決手段】所定の出力インピーダンスを有するRF電力源から、RF電力を、電気的に非線形な媒体へと供給するための電極装置。この電極装置は、前記媒体と関連づけられ、この媒体と共に所定の負荷インピーダンスを形成する駆動電極と、前記RF電力源の出力インピーダンスを、前記負荷インピーダンスに整合させるように、前記RF電力源と駆動電極との間に接続されているインピーダンス整合ネットワークとを有する。前記整合ネットワークは、前記駆動電極に直接接続されている出力部材を有する。前記電極装置は、前記整合ネットワークと駆動電極との間に配置されているRFエネルギー吸収材のボディをさらに有し得、この吸収材は、周波数につれて増大する周波数依存エネルギー吸収特性を有する。

請求項（抜粋）：

所定の出力インピーダンスを有するRF電力源から、RF電力を、電気的に非線形な媒体へと供給するための電極装置であって、 前記媒体と関連づけられ、この媒体と共に所定の負荷インピーダンスを形成する駆動電極と、 前記RF電力源の出力インピーダンスを、前記負荷インピーダンスに整合させるように、前記RF電力源と駆動電極との間に接続され、また、前記駆動電極に、物理的かつ電気的に直接接続されている出力部材を有するインピーダンス整合ネットワークとを、 具備する電極装置。

IPC (5件)：

H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  C23C16/505 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

FI (5件)：

H05H1/46 M ,  B01J19/08 E ,  C23C16/505 ,  H01L21/31 C ,  H01L21/302 101B

Fターム (23件)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EE02 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB12 ,  4G075FC20 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  5F004AA01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004BB32 ,  5F045AA08 ,  5F045BB01 ,  5F045EH04 ,  5F045EH14