特許
J-GLOBAL ID：200903001693922978
回折光学素子の製造方法および回折光学素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-343914
公開番号（公開出願番号）：特開2005-104093
出願日： 2003年10月02日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】金型の形状補正を効果的に行い、形状精度の高い回折光学素子を製造する。【解決手段】ステップ3〜6で、回折光学素子をモールド成形するための金型の三次元形状を測定し、回折格子形状を除去したベース面形状を求めて設計値と比較し、金型のベース面形状誤差を求める。得られたベース面形状誤差により金型加工条件を変更してステップ2にもどり、金型の再加工を行い、ステップ3〜6を繰り返す。金型のベース面形状誤差が公差規格内であれば、その金型を用いて回折光学素子のモールド成形を行い、ステップ9〜11で上記と同様に成形品のベース面形状誤差を抽出し、必要であればステップ15で金型加工形状を補正して、ステップ2へもどり、金型の再加工を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
平面、球面または非球面の連続面形状をベース面形状とし、前記ベース面形状に重ねて回折格子形状が形成された回折光学素子の製造方法において、
回折光学素子のモールド成形に用いる金型の三次元形状を計測して金型の三次元形状データを得る工程と、
得られた金型の三次元形状データに基づいて金型のベース面形状誤差を算出する工程と、
算出された金型のベース面形状誤差に基づいて金型の形状補正を行う工程と、
形状補正を行った金型を用いて回折光学素子をモールド成形する工程と、を有することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H049AA04
, 2H049AA18
, 2H049AA40
, 2H049AA43
, 2H049AA51
, 2H049AA63
, 2H049AA64
, 4F202AH73
, 4F202AM14
, 4F202AM23
, 4F202CA11
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD18
, 4F202CD30
, 4F202CS03
