特許

J-GLOBAL ID：200903001698148669

乾燥装置および乾燥方法

発明者： 松本 曉典 ,  黒田 健 ,  伴 功二 ,  小西 瞳子 ,  横井 直樹
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132046
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321585
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 処理対象物の乾燥不良を抑制する。【解決手段】 ノズル34へIPA液が供給されると、流出孔35を通じて流出するIPA液の流れ29が生成される。流れ29は、膜状となって、処理槽11の側壁の内側表面に沿って下降し、その後、処理槽11の下部に形成されている液受け部36を通じて、外部へと回収される。処理槽11の側壁の内側表面がIPA液の流れ29で覆われるので、この内側表面へのIPA蒸気の無用な凝縮が抑制される。その結果、IPA蒸気が、受け皿6の上に載置される処理対象物の表面への凝縮に、有効に利用されるので、処理対象物の乾燥不良が抑制される。

請求項（抜粋）：

水溶性の溶媒液を用いて処理対象物の表面を乾燥させるための乾燥装置において、前記処理対象物を出し入れ可能で上方向を向いて開口する開口部を上部に規定し、底部において前記溶媒液を貯留可能であるとともに、貯留された当該溶媒液の上方において前記処理対象物を収容可能な処理槽と、前記処理槽の前記底部に貯留される前記溶媒液を加熱可能な加熱手段と、貯留される前記溶媒液が加熱されることによって当該溶媒液から発生する蒸気が、前記開口部を通じて前記処理槽の内部から外部へと放散することを防止するための放散防止手段と、前記溶媒液の供給を受けることによって、前記処理槽の側壁の内側表面に沿って、当該内側表面を覆うように流れる前記溶媒液の流れを生成するノズルと、前記内側表面に沿って流れた後の前記溶媒液を回収し、前記処理槽の外部へと導く液回収手段と、を備える乾燥装置。