大気ガス分量遠隔測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-292053
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108613
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】エタロンによる分光方式を用いた大気ガス分量常時監視において、高分解能に加えて、駆動部の劣化による測定装置劣化を排除し、かつ測定速度を上げることが可能な大気ガス分量遠隔測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】エタロンへの入射する測定光の入射角度が異なるとその最大透過波長も変化することを利用し、異なるスリット3、4から固定エタロン7への入射角をエタロン透過後の最大透過波長が観測ガスの吸収波長と窓波長域となるように設置することにより、集光光学系9にて集光した2つ以上のスペクトル像の強度は観測ガスの吸収波長と窓波長域の波長強度となるため、そのスペクトル像の各々の強度をアレイ型受光素子11または単体素子にて測定することにより、それらの差分強度と窓帯域の強度によりガス分量の測定を行うことができ、駆動部を用いた波長走査を行う必要がなくなる。

請求項（抜粋）：

大気ガス情報を含んだ被測定光を集光するための集光光学系と、前記集光光学系による被測定光の集光部に配置された2つ以上の入射スリットと、入射スリットから発散する被測定光を無限共役光にするためのコリメート光学系と、前記コリメート光学系を透過し無限共役となる被測定光の含有波長を狭帯域化させるための固定エタロンと、バンドパスフィルターと、前記の2つの狭帯域化フィルターを透過した被測定光を集光するための集光光学系と、前記集光光学系により集光した2つ以上の入射スリット像の各々の強度を測定するためのアレイ型受光素子もしくは単体の受光素子とを用いて構成され、受光素子にて測定される2つ以上の被測定光の波長帯域が測定対象ガスの吸収域と窓帯域に設定配置されていることを特徴とする大気ガス分量遠隔測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/31 , G01J 3/26

FI (2件)：

G01N 21/31 , G01J 3/26

Fターム (39件)：

2G020AA03 , 2G020AA04 , 2G020AA05 , 2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020CA02 , 2G020CB04 , 2G020CB42 , 2G020CB43 , 2G020CC02 , 2G020CC23 , 2G020CC28 , 2G020CC43 , 2G020CC63 , 2G020CD05 , 2G020CD13 , 2G020CD24 , 2G020CD33 , 2G059AA01 , 2G059BB02 , 2G059CC04 , 2G059CC05 , 2G059CC06 , 2G059CC08 , 2G059CC13 , 2G059EE01 , 2G059EE11 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH08 , 2G059JJ03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ17 , 2G059JJ30 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059PP10

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