特許

J-GLOBAL ID：200903001699467326

除振機構及び放射ビーム装置

発明者： 上 村 英 助
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-111324
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310229
出願日： 2001年04月10日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】除振対象物の設置床の振動特性に応じたダンピング制御を簡単に行う。【解決手段】 ベースプレート5と架台の間の四隅に除振マウント22A,22B,22C,22Dを設ける。顕微鏡本体21の重心が存在する軸23関して対称な左右の位置にダンパー付き除振機構24A,24Bを配設する。ダンパー付き除振機構は、ベースプレート5に接触し、捻子が切られている上側バネ受け25、設置床上の架台4に接触し、シリコンオイル27が収容されたオイル容器28が取り付けられた下側バネ受け26を有する。上側バネ受け25に、軸方向の長さが調整可能なロッド体30が取り付けられている。ロッド体30は、外面に捻子が切られたロッド31、ロッド31に対して螺合する捻子が内面に切られた管32、固定用ナット33,34から成る。ロッド31上での管32のねじ込のねじ込み具合を調整することにより、ロッド体30の軸方向の長さが決まる。

請求項（抜粋）：

除振マウントの除振対象物設置部側に内部に粘性流体を収容した容器を取り付け、除振マウントの除振対象物側に該容器内部への挿入具合を調整可能に成した挿入部材を取り付けた除振機構。

IPC (3件)：

F16F 15/023 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/023 A ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (8件)：

3J048AA02 ,  3J048AC05 ,  3J048AD05 ,  3J048BD08 ,  3J048BE04 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23