特許
J-GLOBAL ID:200903001699810942
垂直磁気記録媒体及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-278595
公開番号(公開出願番号):特開平6-342512
出願日: 1991年09月30日
公開日(公表日): 1994年12月13日
要約:
【要約】【目的】 下地層の磁化容易軸の配列を改良すると共に垂直磁化層の配向度も改良して低ノイズ化を図り、また、下地層のヘッド走行方向に対する透磁率を高めて記録再生効率を向上させる。【構成】 円形基板8上に軟磁性下地層10と垂直磁化層12を順次積層して垂直磁気記録媒体を製造するに際して、上記円形基板8の半径方向に磁界を印加しながらCo系軟磁性下地層8を形成し、この上面に下地層成膜終了後の所定の時間内にCo系垂直磁化層12の形成を開始して、これに含まれるCo原子と上記下地層10に含まれるCo原子とを結合させる。
請求項(抜粋):
円形基板の半径方向に磁界を印加しながらCo系軟磁性下地層を成膜する工程と、このCo系軟磁性下地層を成膜した後の所定の時間内に、真空中でCo系垂直磁化層の成膜を開始して前記下地層のCo原子と前記垂直磁化層のCo原子とを直接結合させる工程とよりなることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭60-052919
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特開平3-122819
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特開昭64-066815
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