特許
J-GLOBAL ID：200903001713756751
干渉計システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280774
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213413
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 2つの周波数干渉計を用いて、干渉計システムの小型化,熱容量の減少を図ること。【解決手段】 この発明は、単一周波数で、直線的に偏光され、かつ動く載物台16上のモジュール14にビームを送るための光ファイバー12の中に送り出す周波数が固定された光ビーム源からなる、固定された反射器24,25に関連した載物台16の動きを測定する干渉計システムである。モジュール14は、発生器42から出たビーム2つの直角に偏光された成分状態の間の周波数差を持つビームを生成するための、音響光学的デバイス42あるいは、1つの周波数を2つの周波数に変換する周波数発生器と、ビームを形成し、分離する光学部品40,46と、一対の干渉計52,54と、光学的混合器と、集光光学部品32,34とから構成される。集光光学部品は、光電検出器36,38と載物台16の動きのデータを与える電子的処理部とに干渉信号を伝える光ファイバー26,28に、干渉計52,54の出力ビーム55,57を送り出すものである。
請求項（抜粋）：
単一周波数で、直線的に偏光され、周波数が固定された光ビーム源であって、動く載物台から遠く離れて配置され、かつ光学的に調整された源と、前記光ビームを前記動く載物台に伝えるために、前記光ビーム源と前記載物台との間に配置された光ファイバー手段とを備え、前記載物台が、モジュール手段を備え、前記光ファイバー手段が前記モジュール手段に前記光ビームを伝えるための手段を備え、前記モジュール手段が、そのモジュール手段に伝えられた前記単一周波数の光ビームを2つの周波数を持ち直角に偏光されたビームに変換する手段を備え、前記モジュール手段がさらに、第1及び第2の測定ビームを生成するために、少なくとも第1の干渉計手段と第2の干渉計手段を備え、かつ前記干渉計手段に基づいて載物台の動きをそれぞれ測定するための第1及び第2の光信号出力を与えるとともに、前記載物台から離れた位置に配置され、前記第1と第2の干渉計手段のそれぞれと光学的に提携配置された第1及び第2の固定反射手段であって、前記第1と第2の測定ビームを反射し、かつ前記第1と第2の干渉計手段に光信号出力を与えて前記第1と第2の干渉計手段に関連した前記載物台の動きを測定できるようにした第1及び第2の固定反射手段と、前記第1と第2の光信号出力を前記動きの測定に変換する変換手段とをさらに、備えた、動く載物台の動きを測定するための干渉計システム。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01J 9/00
G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G01J 9/00
