特許
J-GLOBAL ID：200903001730893592
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-137957
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321168
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 温度変化によるプリント基板の熱的変形を抑制すると共にプローブ針の針先の初期の平坦度を維持し、しかも加熱下におけるプローブ針の酸化を抑制し、高温下であっても常に精度の高い電気的検査を行なうことができるプローブカードを提供する。【構成】 本プローブカードは、プリント基板12のプリント配線16に接続された複数のプローブ針15と、これらのプローブ針15をそれぞれ片持ちする台座14とを備え、各プローブ針15を半導体ウエハWの所定の電極パッドPに接触させて電気的検査を行なうものであり、上記プリント基板12の上面に、その中央部に形成された開口部17を被うように熱伝導性に優れた貫通孔19を有する支持体13を設けると共に、この支持体13の下面に開口部17より小さい台座14を直付けしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
プリント基板の配線に接続された複数のプローブ針と、これらのプローブ針をそれぞれ片持ちする台座とを備え、上記各プローブ針を被検査体の所定の電極に接触させて電気的検査を行なうプローブカードにおいて、上記プリント基板の上面に、その中央部に形成された開口部を被うように熱伝導性に優れた、貫通孔を有する支持体を設けると共に、この支持体の下面に上記開口部より小さい上記台座を直付けしたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
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