特許
J-GLOBAL ID：200903001736575134
共焦点光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-135046
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318879
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 装置のコスト高を生じることなくノイズ光をなくすことができ、計測性能を向上できるようにする。【解決手段】 光源の光が参照光としてホログラムに入射し、ホログラム3はピンホールアレイ4の各ピンホール位置から出射する点光源と等価な光を、上記参照光を回折することにより再生し、この再生光が被計測物体に投光され、その反射光がホログラム3を透過してピンホールアレイ4に集光され、このピンホールアレイ4を通過した光の光量を光検出器アレイ8にて検出するようにした共焦点光学装置において、上記光源からの参照光に直線偏光した光を用い、ホログラム3と被計測物体との間に1/4波長板17を配置し、ホログラムと光検出器アレイの間に偏光ビームスプリッタを配置した構成となっている。
請求項（抜粋）：
光源の光が参照光としてホログラムに入射し、ホログラムはピンホールアレイの各ピンホール位置から出射する点光源と等価な光を、上記参照光を回折することにより再生し、この再生光が被計測物体に投光され、その反射光がホログラムを透過してピンホールアレイに集光され、このピンホールアレイを通過した光の光量を光検出器アレイにて検出するようにした共焦点光学装置において、上記光源からの参照光に直線偏光した光を用い、ホログラムと被計測物体との間に1/4波長板を配置し、ホログラムと光検出器アレイの間に偏光ビームスプリッタを配置したことを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (4件)：
G02B 21/00
, G01B 11/24
, G02B 5/32
, G03H 1/22
G02B 21/00
, G01B 11/24 D
, G02B 5/32
, G03H 1/22
