特許
J-GLOBAL ID：200903001741889210
ウエーハの研磨方法及びその研磨用トツプリング
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265356
公開番号（公開出願番号）：特開平5-069314
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 被研磨ウェーハの鏡面研磨加工において、研磨用トップリングに被研磨ウェーハを接着せずに取り付け、かつ被研磨ウェーハ全面を常に均一の押圧力でターンテーブルの研磨布に押し付けて精密に研磨できるようにする。【構成】 トップリングに吸着機構を有するウェーハチャックを設けて被研磨ウェーハを吸着保持する。ウェーハチャックを取り付けた加圧プレートは、弾性体シートを介してトップリングの加圧プレート保持部に吊持し、弾性体シートにより囲まれたトップリング内部の密閉空間に圧力流体を供給して、被研磨ウェーハ全面に掛かる押圧力を常時一定に保持する。加圧プレート及びウェーハチャックの固定具を、加圧プレート保持部に比して弾性変形できる程度の材質で形成し、吸着される被研磨ウェーハの厚さムラを吸収する。
請求項（抜粋）：
トップリングで被研磨ウェーハをターンテーブルの研磨面に押し付けて鏡面状に研磨するウェーハの研磨方法において、前記被研磨ウェーハはトップリングの下部に取り付けられた吸着機構を有する加圧プレートに吸着保持すると共に、加圧プレートは弾性体シートを介して加圧プレート保持部に吊持し、前記弾性体シートにより囲まれた密閉空間に圧力流体を供給して、被研磨ウェーハ全面に掛かる押圧力を常時一定に保持するように前記圧力流体の供給圧力を調節しつつ被研磨ウェーハのポリッシング加工を行うことを特徴とするウェーハの研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
