特許

J-GLOBAL ID：200903001745958208

レーザビーム加工装置の変形可能ミラー

発明者： クラウス、ベール ,  ラインハルト、シュミードル ,  ブリギッテ、フライスレーベン
出願人/特許権者： ディール、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124717
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039282
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 モジュール化され、ビーム形状が最適化され、電気機械的に温度補償され、容易に作動調整でき、作動させる前に再度別の調整をする必要がなくレーザマシンセンタで直接使用できる変形可能なレーザミラーを提供する。【構成】 特にレーザビーム加工装置に用いられる変形可能ミラー(11)であって、少なくとも1個のトランスレータ(19)を有し、このトランスレータ(19)は、ジャケット管(20)の中に包囲された電気機械的なアクチュエータ(23)によって作動される圧力部(21)によって、ミラー板(13)の後側とハウジング(12)との間に固定されており、一方で前記ジャケット管(20)および前記ハウジング(12)の材料と他方で前記圧力部(21)および後端のアダプタ(22)とは、アクチュエータ(23)とともに、ほぼ同等の熱膨張特性を有することを特徴とし、これによって、ピエゾアクチュエータ(23)の熱膨張係数が小さい結果としてハウジングの温度上昇によりミラー板(13)が内方へ曲げられるのを防止できる。

請求項（抜粋）：

特にレーザビーム加工装置に用いられる変形可能ミラー(11)であって、少なくとも1個のトランスレータ(19)を有し、このトランスレータ(19)は、ジャケット管(20)の中に包囲された電気機械的なアクチュエータ(23)によって作動される圧力部(21)によって、ミラー板(13)の後側とハウジング(12)との間に固定されており、一方で前記ジャケット管(20)および前記ハウジング(12)の材料と他方で前記圧力部(21)および後端のアダプタ(22)とは、アクチュエータ(23)とともに、ほぼ同等の熱膨張特性を有することを特徴とするレーザビーム加工装置の変形可能ミラー。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  G02B 5/10 ,  G02B 7/185 ,  G02B 7/192