磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小堀益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350777
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185713
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】起歪体の異方性を完全に付与し、しかも、大量に処理が可能な製造方法を提供する。【解決手段】起歪体5に電流を通電しながら炉21中で熱処理することにより起歪体を製造する磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法。本発明の実施の態様として、(1)起歪体が磁歪を有する磁性材料である。(2)磁性材料がマルエージング鋼である、(3)起歪体が非磁性材料上に磁歪を有する磁性膜が形成されている材料である、(4)非磁性材料がSUS304である、(5)磁性膜がNi-Fe合金である、(6)磁性膜がNiめっき膜である、(7)磁性膜形成法がスパッタリング法である、(8)通電する電流によって起歪体表面に発生する磁界の強さは10Oe以上である、ことが挙げられる。

請求項１：

起歪体に電流を通電しながら炉中で熱処理することにより起歪体を製造することを特徴とする磁歪式歪センサ用起歪体の製造方法。

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