特許

J-GLOBAL ID：200903001751421577

パターン観察装置およびマスク検査装置

発明者： 奥田 健太郎 ,  藤原 剛
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (3件)： 大胡 典夫 ,  竹花 喜久男 ,  宇治 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-026643
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240523
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】可視光の照明でもHTマスクのよう識別が困難パターンを、コントラスト良く観察することができる観察装置と、それを用いたマスク検査装置を提供すること。【解決手段】観察体1の斜め上方から観察体1を撮像する撮像手段4と、この撮像手段4により撮像された画像信号が入力される画像処理手段6と、この画像処理手段6からの出力である歪みのない観察体1の画像情報に基づいてアライメントマークを設定するアライメントマーク設定手段8とを設ける。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

均一に面照明する照明手段と、この照明手段により均一に照明されているパターンが形成された観察体に対し、該観察体の斜め上方から該観察体を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された画像信号が入力される画像処理手段と、この画像処理手段からの出力である歪みのない前記観察体の画像情報に基づいてアライメントマークを設定するアライメントマーク設定手段とを有することを特徴とするパターン観察装置。

IPC (4件)：

G06T1/00 ,  G01N21/956 ,  G03F1/08 ,  G06T3/00

FI (6件)：

G06T1/00 400D ,  G06T1/00 420C ,  G06T1/00 420F ,  G01N21/956 A ,  G03F1/08 S ,  G06T3/00 200

Fターム (26件)：

2G051AA56 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA23 ,  2H095BD04 ,  2H095BD12 ,  2H095BD16 ,  2H095BD19 ,  2H095BD24 ,  5B047AA12 ,  5B047BB04 ,  5B047BC05 ,  5B047BC09 ,  5B047BC12 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD12