特許
J-GLOBAL ID：200903001757056358
光透過性基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302638
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138470
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】異物が光透過性基板の表面と裏面の何れに付着しているかを正確に判別する上で有利な光透過性基板検査を提供する。【解決手段】光透過性基板基板装置10は、レーザー光源20、集光レンズ35、ビームスプリッター40、アパーチャ部材45、スペクトル解析器50などを備えている。レーザー光源20から出射されたレーザー光25は第1波長を有する第1レーザー光と第2波長を有する第2レーザー光とを含む。集光レンズ35は第1レーザー光を光透過性基板55の表面箇所に集光し、かつ、第2レーザー光を光透過性基板55の表面を通過させて裏面箇所に集光させる。集光された第1、第2レーザー光が異物により散乱されて散乱光が生じ、これら第1、第2のレーザー光の散乱光がビームスプリッター40を介してスペクトル解析器50に導かれる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
厚さ方向の一方に表面が他方に裏面が形成された光透過性基板の検査装置であって、
第1の波長を有する第1レーザー光と第2の波長を有する第2レーザー光とを同時に出射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光照射手段から出射された第1レーザー光を前記光透過性基板の表面箇所に集光し、かつ、前記レーザー光照射手段から出射された第2レーザー光を前記光透過性基板の表面を通過させて裏面箇所に集光する集光レンズと、
前記レーザー光照射手段と前記光透過性基板との間の光路上に配置され、前記光透過性基板の表面および裏面で前記第1、第2レーザー光が反射された反射光と、前記レーザー光照射手段から出射された第1、第2レーザー光とを分離するビームスプリッターと、
前記ビームスプリッターによって分離された前記反射光の光スぺクトルを解析するスペクトル解析手段とを備え、
前記集光レンズによって前記光透過性基板に導かれる前記第1、第2レーザー光の光路は前記光透過性基板の表面および裏面に対して垂直となるように構成されている、
ことを特徴とする光透過性基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/958
, G02F1/13 101
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051BA08
, 2G051BA10
, 2G051BB03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051CC20
, 2G051EC04
, 2H088FA11
, 2H088FA25
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088HA20
, 2H088HA21
, 2H088HA24
, 2H088MA04
, 2H088MA20
