特許

J-GLOBAL ID：200903001762542597

平坦度計測方法及びその装置、並びに露光装置

発明者： 井上 次郎 ,  金子 謙一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-334930
公開番号（公開出願番号）：特開2004-138611
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】物体の平坦度を精度良く計測する。【解決手段】物体表面上に設定された評価領域A1の外側に位置する第1検出点S21、S22、S26、S27、S61、S62、S66、S67に照射系から検出光束を同時に照射し、各第1検出点からの反射光束を個別に受光する各センサの出力に基づいて物体表面の位置及び傾斜を一定値に保った状態で、評価領域内に位置する第2検出点S31〜S37、S41〜S47、S51〜S57に照射系から検出光束をそれぞれ照射し、各第2検出点からの反射光束を個別に受光する各センサの出力に基づいて各第2検出点における面位置情報を得る。そして、各第2検出点の面位置情報を用いて、評価領域における物体表面の平坦度を算出する。従って、物体が仮にステージ上に載置されていても、その走行面の不定性などに影響を受けず、物体表面の平坦度を精度良く計測できる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被検出物体表面上の複数の検出点に検出光束を照射する照射系と、前記各検出光束の前記被検出物体表面からの反射光束を個別に受光する複数のセンサとを有し、前記各検出点における前記被検出物体表面の面位置情報を検出する多点焦点位置検出系を用いて、前記被検出物体表面の平坦度を計測する平坦度計測方法であって、 前記被検出物体表面上に設定された所定の評価領域の外側に位置する少なくとも3つの第1検出点に前記照射系から検出光束を同時に照射し、前記各第1検出点からの反射光束を個別に受光する各センサの出力から得られる各第1検出点における前記被検出物体表面の面位置情報に基づいて前記被検出物体表面の位置及び傾斜を一定値に保つ第1工程と; 前記被検出物体の位置及び傾斜が前記一定値に保たれた状態で、前記評価領域内に位置する複数の第2検出点に前記照射系から検出光束をそれぞれ照射し、前記各第2検出点からの反射光束を個別に受光する各センサの出力に基づいて前記各第2検出点における面位置情報を得る第2工程と; 前記評価領域内の各検出点の面位置情報を用いて、前記評価領域における被検出物体表面の平坦度を算出する算出工程と;を含む平坦度計測方法。

IPC (3件)：

G01B11/30 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G01B11/30 101A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 526B

Fターム (21件)：

2F065AA47 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065FF09 ,  2F065FF43 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL28 ,  2F065LL59 ,  2F065MM25 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR06 ,  2F065UU05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DB05