特許
J-GLOBAL ID：200903001792312693
力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-228855
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068800
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 静電容量型の変位検出を行う力顕微鏡において、検出動作を安定に行い、かつプローブ周辺部を外側から視認しやすくする。【構成】 プローブ11を先端部に設けたカンチレバー37を備え、プローブの位置変化に伴うカンチレバーの変位に基づいて力を検出する力顕微鏡であり、カンチレバーは中間部両側に捩じれ変形部38を介して本体部36に設けられ、カンチレバーの後部側の一面に可動電極39を設け、かつこの可動電極39に対向する固定電極33aを固定部側に設け、可動電極と固定電極の間の静電容量の変化に基づいてカンチレバーの変位を検出する。捩じれ変形部はカンチレバーの中央部よりも先部側に設けられることが望ましい。
請求項（抜粋）：
力の作用を受けるプローブを先端部に設けたカンチレバーを備え、前記プローブの位置変化に伴う前記カンチレバーの変位に基づいて前記力を検出する力顕微鏡において、前記カンチレバーは中間部両側に位置する捩じれ変形部を介して本体部に設けられ、前記カンチレバーの後部側の一面に第1電極を設け、かつこの第1電極に対向する第2電極を固定部側に設け、前記第1電極と前記第2電極の間の静電容量の変化に基づいて前記カンチレバーの変位を検出することを特徴とする力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
