特許
J-GLOBAL ID：200903001792578952
レーザープラズマ極紫外放射線源のためのノズル及び極紫外放射線の発生方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-130462
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043199
出願日： 2002年05月02日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：
【要約】【課題】 標的材料送給チューブを使用する、レーザープラズマ極紫外放射線源のためのノズルを提供する。【解決手段】 レーザープラズマEUV放射線源(46)はノズル本体(48)とそこを通って流れる標的材料との間の熱隔離を提供す。標的送給チューブ(72)はノズル本体を通って延びる。送給チューブはノズル本体の出口コリメータ(50)の背後に位置する膨張開口(80)を有する。送給チューブはステンレス鋼の如き低熱伝導性材料で作られ、プラズマからのノズル本体の加熱が送給チューブを通して送給されている液体標的材料を加熱しないように、ノズル本体との限られた接触を行う。膨張開口は出口コリメータよりも小さな直径を有する。
請求項（抜粋）：
レーザープラズマ極紫外(EUV)放射線源のためのノズルにおいて、標的材料を受け取る源端部と、上記標的材料のスプレーを放出する出口端部と、これらの間のチャンネルとを有するノズル本体;及び上記チャンネルを通って延びる標的材料送給チューブであって、上記ノズルの上記源端部の近くに位置する第1の端部と、当該ノズルの上記出口端部の近くに位置する第2の端部とを有し、上記第2の端部が膨張開口を有し、上記第1の端部が上記標的材料を受け取り、当該第2の端部が当該標的材料を上記膨張開口を通して該ノズルの当該出口端部内へ放出するような標的材料送給チューブ;を有することを特徴とするノズル。
IPC (5件)：
G21K 5/08
, G21K 5/02
, H01L 21/027
, H05G 2/00
, G21K 7/00
G21K 5/08 X
, G21K 5/08 C
, G21K 5/02 X
, G21K 7/00
, H05G 1/00 K
, H01L 21/30 531 S
4C092AA04
, 4C092AA14
, 4C092AA15
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 5F046GC03
