特許
J-GLOBAL ID：200903001801379020
酸化物ガラス薄膜の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288947
公開番号（公開出願番号）：特開平6-135728
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 均質な酸化物ガラス薄膜の製造。【構成】 ターンテーブル20を回転させ、トーチ14を往復移動させつつ、トーチ14に原料ガス等を供給することにより、酸化物ガラス微粒子を各基板18上に一様に供給し堆積する。下部ヒータ22がターンテーブル20に対して相対的に回転しているので、このターンテーブル20を一様に加熱することができ、各基板18内の温度とこれら相互の温度とを比較的均質に保つことができる。さらに、各基板18とターンテーブル20との間にこれらに接して均熱板24が挟まれているので、ターンテーブル20の半径方向の温度分布を各基板18ごとにより均質なものとすることができ、各基板18上に堆積される酸化物ガラス微粒子層を同一基板内あるいは基板相互間で均質かつ一定の厚みにすることができる。次に、各基板18を別の炉内で高温に加熱し、堆積された酸化物ガラス微粒子層を透明化して酸化物ガラス薄膜を得る。
請求項（抜粋）：
バーナからの酸化物ガラス微粒子を堆積すべき基板を反応容器内に支持するとともに、前記バーナに対して相対的に回転するテーブルと、前記基板を下方から加熱するヒータ部材と、前記基板と前記ヒータ部材との間に配置された均熱板と、を備える酸化物ガラス薄膜の製造装置。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03C 3/00
, G02B 6/12
