位置検出装置及び方法、位置調整装置及び方法、並びに露光装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-113414
公開番号（公開出願番号）：特開2005-333116
出願日： 2005年04月11日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】略円板状の物体の位置情報を精度良く検出する。【解決手段】ターンテーブルTT上に保持されたウエハWを270°だけ回転させ、その間のウエハWのエッジ位置をラインセンサ21、22により検出する。その検出結果をD1[i]、D2[i]とすると、ターンテーブルTTの回転軸の回転量が360°より小さい270°であっても、ウエハWの全周の輪郭に関する情報を検出することができるので、ウエハWの位置情報を短時間に、かつ、精度良く検出することができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

略円板状の物体の位置情報を検出する位置検出装置であって、所定の回転軸を有し、その回転軸の回転により前記物体をその円周方向に回転可能に保持する回転保持機構と; 前記回転軸の回転量を検出する回転量検出装置と; 前記物体の異なる外縁部の位置情報をそれぞれ検出する少なくとも2つの外縁検出装置と; 前記回転軸を所定の回転量だけ回転させる制御装置と; 該回転中の前記回転量検出装置の検出結果と前記各外縁検出装置の検出結果との関係から得られる前記物体の輪郭に関する情報に基づいて、前記物体の位置情報を算出する算出装置と;を備える位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G01B21/00 , G03F9/00

FI (3件)：

H01L21/30 520A , G01B21/00 F , G03F9/00 Z

Fターム (44件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA12 , 2F065BB03 , 2F065BB16 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065MM04 , 2F065PP13 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065RR07 , 2F065UU03 , 2F065UU05 , 2F069AA13 , 2F069AA15 , 2F069AA21 , 2F069AA38 , 2F069BB15 , 2F069CC07 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG12 , 2F069GG47 , 2F069GG58 , 2F069GG63 , 2F069GG64 , 2F069HH30 , 2F069JJ17 , 2F069MM03 , 2F069MM23 , 2H097KA20 , 2H097KA29 , 2H097LA10 , 5F046BA03 , 5F046FA09 , 5F046FC08

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-159255号公報

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