特許
J-GLOBAL ID:200903001809979131

圧電バイモルフ型アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-359726
公開番号(公開出願番号):特開平6-204579
出願日: 1992年12月28日
公開日(公表日): 1994年07月22日
要約:
【要約】【目的】 黄銅等の金属板の長板の両面に厚さの薄い両面に電極を設けた厚さ方向に分極した圧電セラミック板を接着し構成した圧電バイモルフ型アクチュエータにおいて、高い湿度の雰囲気において使用しても、電極間に加えた電圧に漏洩の生ずることの無い圧電バイモルフ型アクチュエータとする。【構成】 金属板2の両面に接着する圧電セラミック板1の先端の角に、少なくとも該圧電セラミック板1の厚さに相当する曲率半径を有する丸味の形状とした圧電セラミック板にし、かつ厚さが50μm以上のワニス被覆層3を形成する。
請求項(抜粋):
両面に電極を設け分極を施した平板状の圧電セラミック板を金属板の両面へ各々接着しワニス材により被覆して成る圧電バイモルフ型アクチュエータにおいて、前記圧電セラミック板の先端部の角の曲率半径を、少なくとも該圧電セラミック板の厚さ以上の曲率半径を有する丸味の形状とした圧電セラミック板を用い、かつワニス被覆厚さを少なくとも50μm以上の厚さに施して成る事を特徴とする圧電バイモルフ型アクチュエータ。
IPC (2件):
H01L 41/09 ,  H02N 2/00
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭62-154677
  • 特開昭62-154677
  • 特開平2-277258
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