特許

J-GLOBAL ID：200903001810733367

X-Yステージ

発明者： 小西 郁夫
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215967
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060581
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】 小型なX-Yステージを提供する。【構成】 ベーステーブルの上面1aに沿って2軸の方向に自由度をもつスライドテーブル2を、接触子3とその移動機構で構成される一つの駆動系5で2次元方向(X-Y)に移動する構造としている。

請求項（抜粋）：

ベーステーブルの上面に沿って2次元方向に摺動自在に配設されたスライドテーブルと、このスライドテーブルの上記ベーステーブル上面に対する垂直方向の移動のみを規制する固定手段と、上記スライドテーブルの下方に設けた空間に配設された接触子と、この接触子を上記ベーステーブル上面と平行な面に沿って2次元方向に平行移動させる駆動手段を備えているとともに、上記接触子は、上端面が上記ベーステーブル上面に対して垂直方向に変位して、上記スライドテーブル下面への接触とその解除の状態のいずれかに動作し得るように構成されてなるX-Yステージ。

IPC (7件)：

B23Q 1/44 ,  B23Q 5/28 ,  G01N 1/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  G01N 1/28 ,  G01N 37/00

FI (3件)：

B23Q 1/14 Z ,  H01L 21/30 503 B ,  G01N 1/28 W