特許

J-GLOBAL ID：200903001817311026

感光性樹脂組成物及び現像方法

発明者： 西沢 広 ,  佐藤 邦明 ,  小島 康則 ,  鈴木 健司
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-257715
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100424
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 現像時間が短く、現像裕度が広い感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸、(R1は4価の芳香族基、R2は2価の有機基)(B)一般式(II)又は一般式(III)で表される重合性不飽和化合物、(R3〜R5及びR8〜R10はH又はアルキル基、R6、R7、R12及びR13は2価の炭化水素基、R11及びR14は4価の有機基、Y1〜Y6はH及びエチレン性不飽和基を有する1価の有機基からなる群より選択された少なくとも1つの基、Y1〜Y3及びY4〜Y6のうち、それぞれに少なくとも1つはエチレン性不飽和基を有する1価の有機基)(C)光開始剤及び(D)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物及び現像方法。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸、【化1】(式中、R1は4価の芳香族基、R2は2価の有機基を表す)(B)一般式(II)又は一般式(III)で表される重合性不飽和化合物、【化2】【化3】(式中、R3〜R5及びR8〜R10はそれぞれ独立に水素原子またはアルキル基を表わし、R6、R7、R12及びR13は2価の炭化水素基、R11及びR14は4価の有機基を表わし、Y1〜Y6はそれぞれ独立に水素原子及びエチレン性不法和基を有する1価の有機基からなる群より選択された少なくとも1つの基であり、Y1〜Y3及びY4〜Y6のうち、それぞれに少なくとも1つはエチレン性不飽和基を有する1価の有機基である)(C)光開始剤及び(D)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/037 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027