特許

J-GLOBAL ID：200903001830311671

電流導入端子

発明者： 西村 芳実
出願人/特許権者： 株式会社栗田製作所
代理人 (1件)： 中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253790
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076896
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 導体に対して被処理物を付け直さなくても被処理物に対するイオン誘引を別角度から行うこと、真空容器内の端子部分にイオンを誘引させないこと、大型化することなく絶縁耐圧を高めること、絶縁耐圧の低下を防ぐことなどを実現する電流導入端子を提供する。【解決手段】 上部分1aと下部分1bを一体に結合してなる中空の碍子1と、真空容器に固定するためのフランジ2と、碍子1の中空部に設けられた中空導体3及び中空導体3の一端部及び他端部に取付けられ且つ碍子1に固定された支持部5,6を有する締付金具と、中空導体3の中空部に挿通され、支持部5,6で回転可能に支持された中心導体4とを備え、碍子1の下部分1bを覆うシールドカバー40をフランジ2に取付け、更にシールドカバー40の内側にて別のシールドカバー50を支持部6に取付けた。

請求項（抜粋）：

プラズマを発生させる真空容器に固定するためのフランジと、このフランジが取付けられた中空の碍子と、この中空の碍子の中空部に設けられた中空導体を有するとともに、中空導体の一端部及び他端部にそれぞれ取付けられ且つ前記碍子に固定された支持部を有する締付具と、この締付具の中空導体の中空部に挿通され、前記締付具の支持部で回転可能に支持された中心導体とを備えることを特徴とする電流導入端子。