特許
J-GLOBAL ID:200903001833214561

ワーククリーニング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-230245
公開番号(公開出願番号):特開2008-109096
出願日: 2007年09月05日
公開日(公表日): 2008年05月08日
要約:
【課題】ワークに付着している異物を粘着テープを用いて的確かつ効率よく除去する。【解決手段】ワークである基板wに付着している異物を狙って局部的に粘着テープTを貼り付け、該粘着テープTを剥離することにより異物を粘着テープTに移し取って基板wから除去する。好ましくは、粘着テープTを非粘着面から押圧部材26で押圧しながら基板表面に沿って押圧部材26を相対移動させるとともに、押圧部材26の相対移動に連動して粘着テープTを粘着テープ供給手段から繰り出しながら基板wに貼り付け、かつ、粘着テープTを剥離して回収する。【選択図】図7
請求項(抜粋):
ワークに付着している異物を除去するワーククリーニング方法であって、 ワークに付着している異物を狙って局部的に粘着テープを貼り付け、該粘着テープを剥離することにより粘着テープに異物を移し取ってワークから除去する ことを特徴とするワーククリーニング方法。
IPC (3件):
H01L 21/304 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133
FI (3件):
H01L21/304 641 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500
Fターム (20件):
2H088FA17 ,  2H088FA23 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  2H090JD13 ,  5F157AA42 ,  5F157AA72 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157BA10 ,  5F157BA22 ,  5F157DA11 ,  5F157DA21 ,  5F157DB43 ,  5F157DB46 ,  5F157DB51
引用特許:
出願人引用 (1件)

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