特許
J-GLOBAL ID：200903001836992565
被研磨基板の保持装置及び基板の研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312978
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339979
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【課題】 定盤や研磨パッドに凹凸があったり基板の厚さにばらつきがあっても基板の表面に対して均一な研磨ができるようにすると共に、基板の着脱の機構及び作業を簡易にする。【解決手段】 回転可能な定盤11の上面には弾性を有する研磨パッド12が貼着されている。定盤11の上方には、基板13を保持する基板保持装置15Aが配置されている。基板保持装置15Aは、回転軸16Aと、回転軸16Aの下端に一体的に設けられた円盤状の基板保持ヘッド17Aと、基板保持ヘッド17Aの下面における周縁部に固定された弾性体よりなるリング状のシール部材18Aと、基板保持ヘッド17Aの下面におけるシール部材18Aの外側に固定されたリング状のガイド部材19Aとを備えている。一端から導入された加圧流体は流体流通路20Aの他端から空間部21Aに供給され、基板13を研磨パッド12に押し付ける。
請求項（抜粋）：
被研磨基板を保持すると共に保持した被研磨基板を研磨パッドに押し付ける被研磨基板の保持装置であって、前記研磨パッドに対して進退可能に設けられており、被研磨基板を吸引する基板吸引手段と一端から供給された加圧流体を他端から流出させる流体供給路とを有する基板保持ヘッドと、前記基板保持ヘッドにおける前記流体供給路の他端を囲む部位に固定されており、前記基板保持ヘッド及び前記研磨パッド上に載置された被研磨基板と共に空間部を形成する環状のシール部材とを備え、前記研磨パッド上に載置された被研磨基板を前記流体供給路の他端から前記空間部に供給される加圧流体の圧力により前記研磨パッドに押し付けることを特徴とする被研磨基板の保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
, B24B 37/04
H01L 21/304 321 H
, H01L 21/304 321 M
, B24B 37/04 E
