特許
J-GLOBAL ID：200903001844084074
高周波励起形レーザ発振器の電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159347
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013839
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 この発明は高周波励起形レーザ発振器の電極の改良に関するもので、放電の長期安定化を図るものである。【構成】 図1のようにガスレーザの発振器に、大気とレーザガスを隔離する高い誘電率からなる平板状の誘電体5,7を対向して設け、その大気側表面に、それぞれ金属電極9,11を当接して設け、レーザガス側表面に、それぞれ均一で耐久性の大きな無機質部材13,15を被覆してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガスレーザの発振器に、大気とレーザガスを隔離する高い誘電率からなる平板状の誘電体電極を対向して設け、その大気側表面に、それぞれ金属電極を当接して設け、レーザガス側表面に、それぞれ耐久性の大きな無機質部材を被覆してなることを特徴とする高周波励起形レーザ発振器の電極。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭61-224379
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特開昭62-273786
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