特許
J-GLOBAL ID：200903001846334337
力学量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209345
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063627
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 導線の向きによる検出感度の異方性を検出原理として利用することにより、小型かつ高感度で温度ドリフトの少ない力学量センサを実現する。【構成】 トルクを受ける受動軸1上に、磁歪層2aを介して、長手方向が+45 ゚である細長い平面コイルが複数個接続された構成の検出コイル5aと、長手方向が-45 ゚である細長い平面コイルが複数個接続された構成の検出コイル5bが形成され、受動軸方向に対し線対称をなして近接している。さらに、検出コイル5a,5bを覆うように磁歪層2bが形成されている。以上の構成でトルクによる応力を、検出コイルのインピーダンスの差として検出する。この構成によれば、小型かつ高感度で温度ドリフトの少ない、非接触で測定可能な力学量センサを得ることができる。
請求項（抜粋）：
力を受ける受動軸上に形成された細長い形状の平面コイルの長手方向が、該受動軸方向に対して所定の角度をなし、該コイルに励磁される少なくともその一部が磁歪を有する磁性層を含む磁気回路を備え、磁歪を有する磁性層に発生する力による応力を、該コイルのインピーダンスの変化として検出することを特徴とする力学量センサ。
引用特許：
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