特許

J-GLOBAL ID：200903001852301920

X線露光装置

発明者： 小倉 真哉 ,  田中 裕 ,  藤岡 秀彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080970
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270600
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 露光室を大気開放したときのベリリウム窓の破損を防ぐ。【構成】 拡大ミラー1によって拡大されたSR-X線L1 はビームダクト3を通りベリリウム窓8を経て露光室2へ導入される。マスクM1 を介してウエハW1 を露光する露光室2をメンテナンス等のために大気開放するときは、ベリリウム窓3の下流側の第1の遮断弁9を閉じたうえで、ビームダクト3の下流側ベリリウム窓隣接部分3aを露光室減圧ライン6の分岐ライン11によって減圧し、大気開放前の露光室2と同じ減圧状態に保つ。

請求項（抜粋）：

X線透過窓を備えた減圧室と、該減圧室の前記X線透過窓に隣接する第1の部分を残りの第2の部分から遮断することの自在な遮断手段と、前記減圧室の前記第2の部分に接続された第1の減圧手段と、前記減圧室の前記第1の部分に接続された第2の減圧手段を有し、前記第1の減圧手段および前記第2の減圧手段が個別に制御自在であることを特徴とするX線露光装置。