赤外線センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-069480
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235415
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】赤外線センサにおいて、シリコンウェハの状態で各部材を形成し、各シリコンウェハを接合した後に切断分割することで、複数個の赤外線センサを一度に製造することができる。そして、製造時間の短縮を図り、歩留りを向上し、生産コストを低下させる。【構成】シリコン材料により支持台4を形成する。この支持台4の一端側面4Aに絶縁膜6を介して検出部7を設ける。さらに、前記支持台4の一端側面4Aには、一端側面11Aが蓋体13となり、他端側面11Bが凹陥部12となる蓋体11をガラス層14を介して陽極接合する。また、蓋体11の他端側面11Bには赤外線フィルタ15を設ける。これにより、シリコンウェハの状態での製造が可能となり、生産性を向上できると共に、赤外線センサの小型化も容易に図ることができる。

請求項（抜粋）：

シリコン製の支持台と、該支持台の一端側面に絶縁膜を介して設けられた赤外線検出部と、一端側面が蓋部となると共に、他端側面に凹陥部が形成され、前記支持台の一端側面の外周側を接合することにより設けられたシリコン製の蓋体とから構成してなる赤外線センサ。

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