特許
J-GLOBAL ID:200903001859884840

バックアップ温調部付クリーンオーブン

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷川 昌夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-015197
公開番号(公開出願番号):特開平5-208112
出願日: 1992年01月30日
公開日(公表日): 1993年08月20日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 空気浄化フィルタの温度変化を抑制して該フィルタ自身からの発塵や該フィルタに一旦捕獲された粉塵の脱落も防止することができ、所望のクリーン度を維持できるクリーンオーブンを提供する。【構成】 本体温調部3に対しヒータ74及び送風機75を含むバックアップ温調部7を設け、温調部7には空気流入口71及び空気流出口72を設けるとともに該温調部内気流方向においてヒータ74より上流側に外気導入開放口73を設け、空気流出口72を本体温調部3の本体ヒータ31より上流域に、空気流入口71をさらに上流域にそれぞれ接続し、本体温調部3には、温調部7の空気流入口71に臨む領域に1次蓄熱器61を設けるとともに温調部7の空気流出口72に臨む領域より下流側且つ本体ヒータより上流側に2次蓄熱器62を設けたバックアップ温調部付クリーンオーブン。
請求項(抜粋):
本体ヒータ及び本体送風機を含む本体温調部から熱気を空気浄化フィルタに通過させて物品収容部へ送り出し、再び前記本体温調部へ戻すように循環させるクリーンオーブンにおいて、前記本体温調部に対しヒータ及び送風機を含むバックアップ温調部を設け、該バックアップ温調部には空気流出口及び空気流入口を設けるとともに該温調部内気流方向においてヒータより上流側に外気導入開放口を設け、該空気流出口を前記本体温調部における気流方向において本体ヒータより上流域に、該空気流入口をさらに上流域にそれぞれ接続し、前記本体温調部には、前記バックアップ温調部の空気流入口に臨む領域又は本体温調部気流方向において該領域より上流側に1次蓄熱器を設けるとともに前記バックアップ温調部の空気流出口に臨む領域又は本体温調部気流方向において該領域より下流側且つ本体ヒータより上流側に2次蓄熱器を設けたことを特徴とするバックアップ温調部付クリーンオーブン。
IPC (2件):
B01D 46/42 ,  H01L 21/02
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭60-143111
  • 特開昭63-025117
  • 特開昭61-012500
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