特許
J-GLOBAL ID:200903001860910189
材料の内部組織観察方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 永坂 友康
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-110548
公開番号(公開出願番号):特開2009-264738
出願日: 2008年04月21日
公開日(公表日): 2009年11月12日
要約:
【課題】試料内部の広い範囲に亘る不純物の微量分析とともに内部欠陥の状態を判断し得る溶媒難溶解性材料の内部組織観察方法を提供する。【解決手段】グロー放電質量分析法により難溶解性材料からなる被測定物を研削すると共に研削面の元素濃度を測定し、元素濃度測定後の研削面の表面形状を触針式表面粗さ計により測定し、得られた元素濃度および表面形状の測定結果から被測定物の内部欠陥の状態を判断する材料の内部組織観察方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
グロー放電質量分析法により難溶解性材料からなる被測定物を研削すると共に研削面の元素濃度を測定し、次いで元素濃度測定後の研削面の表面形状を触針式表面粗さ計により測定し、得られた元素濃度および表面形状の測定結果から被測定物の内部欠陥の状態を判断する材料の内部組織観察方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (13件):
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001KA01
, 2G001KA03
, 2G001KA08
, 2G001NA07
, 2G041AA10
, 2G041CA01
, 2G041DA07
, 2G041DA16
, 2G041EA01
, 2G041LA08
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
特開2004- 61163号公報
-
試料表面測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-324972
出願人:カシオ計算機株式会社
前のページに戻る