超高純度酸素採取方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010905
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203345
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】従来の高純度窒素製造装置から排ガスとして排出されていた空気富化空気を原料として少量の超高純度酸素を採取することができる超高純度酸素採取方法及び装置を提供する。【構成】窒素製造装置の精留塔1底部から導出される酸素富化液化空気の一部を第1副精留塔11に導入して精留し、該第1副精留塔11底部に高沸点成分を濃縮して管16から排出するとともに、該第1副精留塔頂部11に分離したガスを副凝縮器12で液化後に第2副精留塔13に導入して精留し、該第2副精留塔13頂部に低沸点成分を濃縮して管27から排出するとともに、該第2副精留塔13底部に分離した超高純度の酸素を管16及び管26から採取する

請求項（抜粋）：

原料空気を深冷液化精留分離法により分離して窒素ガスを製造する窒素製造装置から排出される酸素富化空気の一部を原料として酸素を分離採取する方法であって、前記窒素製造装置の精留塔底部から導出される酸素富化液化空気の一部又は該液化空気を気化した酸素富化空気の一部を第1副精留塔に導入して精留し、該第1副精留塔底部に高沸点成分を濃縮して排出するとともに、該第1副精留塔頂部に分離したガスを液化後に第2副精留塔に導入して精留し、該第2副精留塔頂部に低沸点成分を濃縮して排出するとともに、該第2副精留塔底部に分離した酸素を採取することを特徴とする超高純度酸素採取方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-099988
特開昭61-190277
特開昭64-075883

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