特許
J-GLOBAL ID：200903001862670711
磁気記録媒体製造用真空蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258463
公開番号（公開出願番号）：特開平6-111316
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】蒸着型テープにおける磁性層蒸着処理工程でのフィルムの熱変形を防止し、且つ蒸着効率を向上させることを目的とする。【構成】円柱状に形成した冷却キャン7の周面にフィルム6を螺旋状に複数回巻付けて走行させつつ、電子ビーム銃9を冷却キャン7の長手方向に走査して加熱気化させた磁性材料をフィルム6に付着させる。
請求項（抜粋）：
真空ポンプを用いて真空雰囲気が作り出される真空容器内で、冷却キャンに沿わせて非磁性支持体を連続的に移動させる一方、冷却キャン下方に配置したルツボに収容された磁性材料を電子ビーム銃で加熱気化させ、前記冷却キャンに沿って移動する非磁性支持体に磁性材料を蒸着するよう構成した磁気記録媒体製造用真空蒸着装置において、前記冷却キャンを円柱状に形成し、該冷却キャン周面に前記非磁性支持体を螺旋状に複数回巻付ける構成としたことを特徴とする磁気記録媒体製造用真空蒸着装置。
IPC (2件)：
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