特許
J-GLOBAL ID：200903001863665789
テスト中の装置の温度制御方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288695
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142289
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 テスト期間中にテストすべき装置の温度を制御することを可能とする方法及び装置を提供する。【解決手段】 テスト期間中にDUTの温度を制御する方法が提供され、それは、(a)テスト期間中にDUTによる電力消費に関連した例えば電流消費等のパラメータを測定し、(b)その電力消費に関連したパラメータを使用して、テスト期間中にDUTによる電力消費における変化に起因する温度変化を補償するために温度制御装置を動作させることを特徴としている。その制御は閉ループとするか、又はテストプログラム内に制御信号を組込んだ開ループとすることが可能である。テスト期間中にDUTの温度を制御する装置が提供され、該装置は、(a)テスト期間中にDUTによる電力消費に関連したパラメータを測定する装置と(b)テスト期間中にDUTの温度を制御するために動作する温度制御装置と、(c)電力消費に関連したパラメータの測定値に従って温度制御装置の動作を制御する装置とを有することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
テスト期間中におけるDUTの温度を制御する方法において、(a)テスト期間中のDUTによる電力消費に関連したパラメータを測定し、(b)前記電力消費に関連するパラメータを使用して温度制御装置を動作させ、テスト期間中の前記DUTによる電力消費における変化に起因するDUTにおける温度変化を補償する、ことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 H
, H01L 21/66 H
