多層膜分光反射鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-338550
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172999
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【構成】ブラッグ回折効果を有する多層膜分光素子の重元素層にNi化合物または混合物を使用したことを特徴とする多層膜分光反射鏡。【効果】 Ni/C多層膜に比較してX線反射特性及び耐熱性が向上する。

請求項（抜粋）：