石英粉の脱水方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大家邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215590
公開番号（公開出願番号）：特開平6-040713
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】石英粉の効果的な脱水方法の提供【構成】石英粉を塩素ガスまたは塩素含有化合物ガスに接触させることからなり、好ましくは、石英粉に、1000〜1500°Cの温度下で、塩素ガスまたは塩素含有化合物ガスを0.1〜10%含有する流動化ガスを導入して該石英粉を流動化状態で脱水することを特徴とする石英粉の脱水方法。【効果】従来よりも低い温度で、かつ短時間に従来を上回る脱水効果を達成できる。本発明の方法で脱水した石英粉を原料として製造した石英ルツボはOH基含有量が少ないために高温強度が大きく、気泡含有率が極めて小さいので、シリコン単結晶の引上げ時にルツボ内壁の剥離を生じる虞がなく、単結晶化率が高く不純物の少ない良質の単結晶シリコンを得ることができる。

請求項（抜粋）：