特許

J-GLOBAL ID：200903001869675700

走査型トンネル顕微鏡による試料測定方法

発明者： 守田 和広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237243
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082209
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】試料の表面の状態を変化させることなく比較的速い走査速度で測定を行なうための走査型トンネル顕微鏡による測定方法を提供する。【構成】チューブ型スキャナー16にx走査信号を印加し、探針14をx方向に試料12の表面(A)に沿って走査する。走査中、チューブ型スキャナー16にはz方向駆動電圧Vz (C)が供給され、探針14は試料表面の微細な凹凸には追従せず、その試料表面からの距離はトンネル電流の流れる範囲内に保たれる。探針14に印加するバイアス電圧Vbias(B)は試料表面の微細な凹凸に応じて変化し、試料12と探針14の間に流れるトンネル電流(D)は一定に保たれる。このバイアス電圧Vbiasの変化をモニターすることにより、試料表面の微細な凹凸の情報が得られる。

請求項（抜粋）：

走査型トンネル顕微鏡による試料測定方法において、トンネル電流を一定値または所定値以下に保つように、探針と試料の間に印加するバイアス電圧を制御しながら探針を試料表面に沿って走査する試料測定方法。

IPC (2件)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28