特許

J-GLOBAL ID：200903001872147294

カラーフィルタの製造法

発明者： 山崎 宏 ,  斉藤 学 ,  古林 寛巳
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223602
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062618
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 現像残渣の発生がなく現像性が優れ、微細パターンの形成性が優れたカラーフィルタの製造法を提供する。【解決手段】 (I)基板上に着色された感光性樹脂層を形成する工程、(II)パターン状に露光する工程及び(III)現像液を用いて現像する工程を含む工程を繰り返すことによって、多色のパターンを形成するカラーフィルタの製造法において、着色された感光性樹脂層が、酸価が80〜200の有機高分子化合物を含み、現像液が、4ほう酸ナトリウムとシュウ酸ナトリウム又はシュウ酸カリウムとを含む水溶液であることを特徴とするカラーフィルタの製造法。

請求項（抜粋）：

(I)基板上に着色された感光性樹脂層を形成する工程、(II)パターン状に露光する工程及び(III)現像液を用いて現像する工程を含む工程を繰り返すことによって、多色のパターンを形成するカラーフィルタの製造法において、着色された感光性樹脂層が、酸価が80〜200の有機高分子化合物を含み、現像液が、4ほう酸ナトリウムとシュウ酸ナトリウム又はシュウ酸カリウムとを含む水溶液であることを特徴とするカラーフィルタの製造法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/32

FI (4件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/32