特許
J-GLOBAL ID：200903001876133492
半導体ウエハのブレーキング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168939
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017766
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 ブレーキングに際し割れ残りを防止する。【構成】 表側面に複数条のブレーキング予備線6が形成され裏側面に粘着シート3が粘着された半導体ウエハ1が弾性ベース2の上に載置され、半導体ウエハの粘着シート3の上にブレーキングローラ14が転動されて、半導体ウエハがブレーキング予備線6に沿って複数のペレット2に分割される半導体ウエハのブレーキング装置において、ブレーキングローラ14の外周面にエッジ15が複数条、周方向に等間隔で軸線方向に延在されて敷設され、各エッジ15の間隔Lはブレーキング予備線6の間隔Pに対応されている。【効果】 ブレーキングローラ14の転動時、エッジ15が半導体ウエハのブレーキング予備線6の真上に当たるため、ブレーキング予備線6に沿って劈開される。よって、半導体ウエハを割れ残りがない状態で各ペレット2に分割できる。
請求項（抜粋）：
一主面に複数条のブレーキング予備線が形成されて反対側の主面に粘着シートが粘着された半導体ウエハが、弾性材料から成るベースの上にブレーキング予備線側の主面が当接されて保持され、半導体ウエハの粘着シートの上にブレーキングローラーが押接されて転動されることにより、半導体ウエハがブレーキング予備線に沿って複数のペレットに分割される半導体ウエハのブレーキング装置において、前記ブレーキングローラの外周面にはエッジが複数条、周方向に等間隔に配されてブレーキングローラの軸線方向に延在するように敷設されており、各エッジの間隔は前記ブレーキング予備線の間隔に対応されていることを特徴とする半導体ウエハのブレーキング装置。
FI (3件)：
H01L 21/78 T
, H01L 21/78 M
, H01L 21/78 Q
