特許
J-GLOBAL ID:200903001882894152
光測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-210824
公開番号(公開出願番号):特開2009-047429
出願日: 2007年08月13日
公開日(公表日): 2009年03月05日
要約:
【課題】比較的簡単な構成で、比較的高精度に光路長や被計測物内の散乱光の光路の深度を特定した測定を行うこと。【解決手段】光測定装置1は、低コヒーレンス光を出射する低コヒーレンス光源2と、低コヒーレンス光を参照光と照射光に分離する分波部3と、参照光の光路長を可変する光制御部4と、照射光を被計測物9に照射する第1の光学系51と、被計測物9の深部からの散乱光を、第1の光学系51による被計測物9への照射光の照射位置と異なる位置から集光して導波する第2の光学系52と、第2の光学系52により導波された光と、参照光とを合波する合波部6と、合波部6により合波された光の強度を検出する光検出部7と、参照光又は照射光の光路長と、光検出部により検出された光の強度とに基づいて、被計測物の深部に関する情報を取得する制御部8(情報処理部81)とを有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
低コヒーレンス光を出射する低コヒーレンス光源と、
前記低コヒーレンス光源から出射された低コヒーレンス光を参照光と照射光に分離する分波部と、
前記参照光の光路長を可変する光制御部と、
前記照射光を被計測物に照射する第1の光学系と、
前記被計測物の深部からの散乱光を、前記第1の光学系による前記被計測物への前記照射光の照射位置と異なる位置から集光して導波する第2の光学系と、
前記第2の光学系により導波された光と前記参照光とを合波する合波部と、
前記合波部により合波された光の強度を検出する光検出部と
を有する光測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (30件):
2F064AA15
, 2F064FF03
, 2F064FF07
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG38
, 2F064GG52
, 2F064HH01
, 2F064HH05
, 2F064JJ01
, 2F064JJ05
, 2G059AA01
, 2G059AA06
, 2G059BB12
, 2G059BB13
, 2G059CC18
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059HH01
, 2G059JJ07
, 2G059JJ15
, 2G059JJ19
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059KK02
, 2G059LL01
引用特許:
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