特許

J-GLOBAL ID：200903001885126717

微動駆動機構

発明者： 多川 昌宏 ,  宮▲崎▼ 俊彦 ,  川瀬 俊光
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-112824
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307092
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】 小型で、しかも正確な駆動を可能とする。【構成】 ベース1の外方には、第1の弾性ヒンジ3を介してベース1に一体的に設けられたフレーム2が、ベース1を取り囲んで配置される。フレーム2は、ベース1とフレーム2との間においてx軸に伸縮可能に設けられたx方向圧電素子4a、4bにより、x軸方向に駆動される。フレーム2の外方には、第2の弾性ヒンジ7を介してフレーム2に一体的に設けられた可動部6が、フレーム2を取り囲んで配置される。可動部6は、フレーム2と可動部6との間においてy軸に伸縮可能に設けられたy方向圧電素子8a、8bにより、y軸方向に駆動されるとともに、フレーム2のx軸方向への駆動によりx軸方向へも駆動される。可動部6は、外側に配置されるので、微動駆動機構を小型化しても被駆動物は可動部6の上面に安定して支持される。

請求項（抜粋）：

固定部と、被駆動物が駆動される平面内において前記固定部の周囲を取り囲んで配置される第1の可動部と、前記固定部に、前記第1の可動部を前記平面に含まれる第1の軸方向に移動可能に弾性的に支持する第1の支持部材と、前記平面内において前記第1の可動部の周囲を取り囲んで配置され、かつ、前記被駆動物を載置するための、前記平面に平行な載置面を有する第2の可動部と、前記第1の可動部に、前記第2の可動部を前記平面に含まれるとともに前記第1の軸に垂直な第2の軸方向に移動可能に弾性的に支持する第2の支持部材と、前記固定部と前記第1の可動部との間に配置された、前記第1の可動部を前記第1の軸方向に移動させるための第1の圧電素子と、前記第2の可動部を前記第2の軸方向に移動させるための駆動手段とを有することを特徴とする微動駆動機構。