特許
J-GLOBAL ID：200903001890036238
一成分抵抗動力計とそのドレスモニターシステム
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-190867
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025350
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目的】 一成分抵抗動力計をスライシングマシンに固定して、シリコンインゴットを従来どうりに取付け通常の作業を開始すれば、切断力はインゴットを取付けたワークブロックから、動力計の治具部およびプリローディング部品を通って力センサーへ伝達される。センサーに力が作用すると、内部の水晶素子には比例した電荷が発生する。発生した電荷を電極で集めて、センサーに一体化してある接続ケーブルを通じてモニタ装置内のチャージアンプへ入力する。チャージアンプ内では電荷を電圧に変更して、モニタ装置の表示、制御に利用して、ブレード管理を含めた切断技術のノウハウを確立し、スライス力をモニタして適切なドレッシングが出来ブレード寿命を安定させウエハの品質を向上させるドレスモニタシステムの提供を目標とします。【構成】 このシステムは、水晶圧電素子センサと、それらを保持する一成分動力計(図4)、コントロールモニタ装置および接続ケーブル、リモコン、ベンレコーダ等の記録計、等で構成される。
請求項（抜粋）：
水晶圧電式センサーを保持する動力計の構造
IPC (3件)：
B28D 5/02
, B23Q 17/09
, B28D 5/04
