特許

J-GLOBAL ID：200903001890719912

誘電体バリア放電装置

発明者： 岡本 昌士 ,  松野 博光 ,  五十嵐龍志 ,  朝比奈 隆
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250197
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096766
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 複数の誘電体バリア放電ランプを共通の給電装置によって点灯し、必要な領域の光照射エネルギー密度の均一性または可制御性が改善された、経済的な誘電体バリア放電装置を提供することにある。【構成】 複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)を基本的には並列接続されて給電装置に接続し、前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の1個以上に容量性および/または誘導性のインピーダンス素子(Z,Z1,Z2,...)を直列に挿入することによって、前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の消費電力バランスを、前記インピーダンス素子(Z,Z1,Z2,...)を挿入しない場合の前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の消費電力バランスから改変する。

請求項（抜粋）：

誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(G,G1,G2,...)があって、前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための両極の電極(Ea,Ea1,Ea2,...),(Eb,Eb1,Eb2,...)のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体(D,D1,D2,...)が介在する構造を有する複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)と、前記複数の誘電体バリア放電ランプの前記電極(Ea,Ea1,Ea2,...),(Eb,Eb1,Eb2,...)に交流の高電圧を印加するための給電装置とを有する誘電体バリア放電装置において、前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)は基本的には並列接続されて給電装置に接続されていて、前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の1個以上に容量性および/または誘導性のインピーダンス素子(Z,Z1,Z2,...)を直列に挿入したことによって、前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の消費電力バランスを、前記インピーダンス素子(Z,Z1,Z2,...)を挿入しない場合の前記複数の誘電体バリア放電ランプ(T,T1,T2,...)の消費電力バランスから改変したことを特徴とする誘電体バリア放電装置。

IPC (2件)：

H01J 65/04 ,  G21K 5/00