特許
J-GLOBAL ID：200903001895146953
磁気センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319029
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164015
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 十字形ホール素子中央部のコーナ部形状のバラツキによる不平衡電圧に伴う不具合を回避できる磁気センサを提供することにある。【構成】 (100)面のシリコンウェハ上に直接、ガリウムヒ素よりなる十字形ホール素子2,3が配置されている。第1の十字形ホール素子2は入力端子を結ぶ方向が<110>方向に平行に配置され、第2の十字形ホール素子3は入力端子を結ぶ方向が<110>方向に垂直に配置されている。そして、第1及び第2の十字形ホール素子2,3の入力端子が並列に接続されている。又、第1の十字形ホール素子2の一方の出力端子7と第2の十字形ホール素子3の一方の出力端子11とが電気的接続され、第1の十字形ホール素子2の他方の出力端子6と第2の十字形ホール素子3の他方の出力端子10とからホール電圧が検出される。
請求項（抜粋）：
(100)面のシリコン単結晶基板上に直接、ガリウムヒ素よりなる十字形ホール素子を配置した磁気センサにおいて、入力端子を結ぶ方向が<110>方向に平行に配置された第1の十字形ホール素子と、入力端子を結ぶ方向が<110>方向に垂直に配置された第2の十字形ホール素子とを備え、前記第1及び第2の十字形ホール素子の入力端子を並列に接続するとともに、第1の十字形ホール素子の一方の出力端子と第2の十字形ホール素子の一方の出力端子とを電気的接続し、第1の十字形ホール素子の他方の出力端子と第2の十字形ホール素子の他方の出力端子とからホール電圧を検出するようにしたことを特徴とする磁気センサ。
IPC (3件)：
H01L 43/06
, G01D 5/245
, G01R 33/06
