特許
J-GLOBAL ID：200903001896460686
帯状ワークの投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-345175
公開番号（公開出願番号）：特開平10-187937
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 帯状ワークを一枚ずつ切断することなく裏面アライメントにより高精度な露光処理を行うことができる帯状ワークの投影露光装置を提供すること。【解決手段】 ワーク吸着機構8,8’により帯状ワークをWb吸着し、移動機構9,9によりワーク吸着機構8,8’ローラR1〜R3,R1’〜R3’を帯状ワークWbの搬送方向と直交する方向に移動させて帯状ワークWbを露光領域から退避させ、部分照明系5から光をマスクMに照射し、アライメントユニット4,4によりマスクアライメントマークMAMの位置を検出・記憶する。ついで、帯状ワークWbを露光領域内に戻し、帯状ワークWbの裏面に記されたワークアライメントマークWAMの位置を検出し、マスクアライメントマークMAMの位置と一致するようにアライメントを行う。次に、光照射装置1から露光光を照射してマスクパターンを帯状ワークWb上に露光する。
請求項（抜粋）：
露光光を照射する光照射装置と、マスクパターンとマスクアライメントマークが記されたマスクと、上記マスクパターンとマスクアライメントマークを投影する投影レンズと、ワークアライメントマークが裏面側に記された帯状ワークと、上記帯状ワークが載置され、載置された帯状ワークのワークアライメントマークを観察するための観察孔が設けられたワークステージと、上記帯状ワークを所定の送り量で上記ワークステージ上に搬送するとともに、ワークステージ上での帯状ワークの移動を許容するように帯状ワークを保持する搬送機構と、上記ワークステージに設けられた観察孔を介してマスクアライメントマークとワークアライメントマークの位置を検出し、両者の位置合わせを行うアライメント系とを備えた帯状ワークの投影露光装置において、帯状ワークを、ワークステージ上のマスクパターンとマスクアライメントマークが投影される領域から退避させ、また帯状ワークを上記領域に挿入する挿入・退避機構を設け、上記挿入・退避機構により帯状ワークを上記領域から退避させて、上記アライメント系によりマスクアライメントマークの位置を検出・記憶し、挿入・退避機構により帯状ワークを上記領域に挿入してワークアライメントマークの位置を検出し、上記検出・記憶されたマスクアライメントマークの位置と、上記ワークアライメントマークの位置に基づき、マスクアライメントマークと帯状ワークの位置合わせを行うことを特徴とする帯状ワークの投影露光装置。
IPC (5件)：
G06T 1/00
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, G06T 7/00
, H05K 3/00
G06F 15/64 325 H
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 H
, H05K 3/00 H
, G06F 15/62 400
