特許
J-GLOBAL ID：200903001901800415
3次元形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045465
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248830
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 スリット光の位置の経時的変化の影響をおさえて、精度の高い3次元形状測定ができるようにする。【構成】 平行ビーム光10をビームスプリッタ3aによって測定用ビーム光11と補正用ビーム光12に分割し、シリンドリカルレンズ4aにより測定用ビーム光11からスリット光13を発生して被測定物9に照射し、補正用位置検出装置6により補正用ビーム光12の位置を検出する。測定時に検出した補正用ビーム光12の位置とキャリブレーション時に検出しておいた補正用ビーム光12の位置のずれを用いて、キャリブレーションによって得ておいた変換位置データを測定時の変換位置データに補正し、この測定時の変換位置データを用いてテレビカメラ5aからの光切断線14の2次元画像データを3次元形状データに変換する。
請求項（抜粋）：
被測定物にスリット光を照射し、このスリット光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線の2次元画像データを変換位置データを用いて3次元形状データに変換するようになされた3次元形状測定装置であって、平行ビーム光を発生するビーム光源装置、このビーム光を測定用ビーム光と補正用ビーム光に分割するビーム分割装置、この測定用ビーム光からスリット光を発生して被測定物に照射するスリット光照射装置、このスリット光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を撮像してその2次元画像データを出力する2次元撮像装置、上記補正用ビーム光の位置を検出する補正用位置検出装置、キャリブレーションによって得られた上記変換位置データおよびキャリブレーション時に上記補正用位置検出装置で検出された補正用ビーム光の位置を記憶しておくデータ記憶装置、ならびに測定時にこのデータ記憶装置に記憶されているキャリブレーション時の変換位置データとキャリブレーション時の補正用ビーム光の位置および上記補正用位置検出装置で検出された測定時の補正用ビーム光の位置を用いて上記2次元撮像装置からの光切断線の2次元画像データを3次元形状データに変換するデータ処理装置を備えている3次元形状測定装置。
IPC (2件)：
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