特許
J-GLOBAL ID：200903001902903242
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357985
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196470
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 処理液槽内の処理液を強制的に冷却して入れ替え時間の短縮及びスループットの向上を図る。【構成】 処理液21を貯留した処理液槽22の底部に処理液21を加熱する加熱体23を備えた処理装置において、処理液槽22内に、処理液21の排出に際して処理液21を冷却する冷却管42を設ける。これにより、処理液槽22内の処理液21を強制的に冷却でき、入れ替え時間の短縮を図ることができると共に、スループットの向上を図ることができる。
請求項（抜粋）：
処理液を貯留した処理液槽の底部に処理液を加熱する加熱手段を備えた処理装置において、上記処理液槽内に処理液の排出に際して処理液を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, F25D 9/00
