ガスセンサ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138775
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005591
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】緻密で粒径の小さい均一なZnO薄膜から成るガス感応体が得られ、優れた水素ガス選択性を有する再現性の良い高感度なガスセンサ素子を得る。【構成】電気絶縁性基板表面に、亜鉛成分を含有したアルコキシドあるいは有機酸塩をエタノールアミンを含有する有機溶媒に溶解し、加水分解した溶液を塗布した後、加熱処理するゾルゲル法により形成したZnO薄膜から成るガス感応体と、ガス感応体に接続した一対の検知電極から成る。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性基板と、該電気絶縁性基板表面にゾルゲル法により形成したZnO薄膜から成るガス感応体と、該ガス感応体に接続した一対の金(Au)または白金(Pt)から成る検知電極とから成ることを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , C01G 9/02

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