特許

J-GLOBAL ID：200903001904550142

直動型ステージ装置

発明者： 鈴木 健司 ,  戸田 貞行 ,  宮崎 正男
出願人/特許権者： 株式会社エフアイ・テクノ
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-221399
公開番号（公開出願番号）：特開2004-064916
出願日： 2002年07月30日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】小型で、組み立て調整が容易であり、小型の素子、部品等を精度良く、高速に位置決めすることができるステージ装置を提供すること。【解決手段】リニア型駆動モータ4を移動ステージ1の下側に配置し、移動ステージ1の位置をリニアエンコーダ10により測定して制御装置にフィードバックし、リニア型駆動モータ4により移動ステージ1を位置決めする。リニア型駆動モータ4は、移動磁界を発生させる円筒状のコイルを備えた駆動部4aと、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフト4bとから構成される。リニア型駆動モータ4の駆動部4aにはヒートパイプ6が配設され、ヒートパイプ6により駆動部4aで発生した熱を放熱部7に導き放熱させる。なお、温度センサ11により温度を測定し、所定位置決め精度に対す熱影響を無視し得ない温度になったときリニア型駆動モータ4に供給する電流値を制限するようにしてもよい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

リニアガイドにより移動可能に支持される移動ステージと、上記リニアガイドが取り付けられた固定ステージと、 上記移動ステージを上記リニアガイドに沿って移動させるリニア型駆動モータとを備えた直動型ステージ装置であって、 上記リニア型駆動モータは、 移動磁界を発生させる円筒状のコイルを有する駆動部と、 上記コイル内を貫通し、S極とN極が軸方向に交互配置され、軸方向に直線的に移動可能な円柱状のシャフトとから構成され、 上記円筒状のコイルとシャフトは上記移動ステージの移動面の下側に配置され、上記駆動モータのシャフトもしくは円筒状のコイルのいずれか一方が上記移動ステージに取り付けられ、他方が上記固定ステージに固定されており、 上記リニア型駆動モータのシャフトと、上記リニアガイドが平行に配置されている ことを特徴とする直動型ステージ装置。

IPC (7件)：

H02K41/03 ,  B23Q5/28 ,  B23Q11/12 ,  H01L21/027 ,  H02K9/22 ,  H02K41/02 ,  H02P7/00

FI (7件)：

H02K41/03 A ,  B23Q5/28 B ,  B23Q11/12 B ,  H02K9/22 A ,  H02K41/02 C ,  H02P7/00 101B ,  H01L21/30 515G

Fターム (27件)：

5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H540AA06 ,  5H540BA03 ,  5H540BB03 ,  5H540BB04 ,  5H540BB06 ,  5H540BB08 ,  5H540BB09 ,  5H540FA02 ,  5H540FA12 ,  5H609BB03 ,  5H609BB08 ,  5H609PP08 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ23 ,  5H641BB06 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641JA09 ,  5H641JB04